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產(chǎn)品中心

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晶圓烘箱 MES無氧烤箱 三清儀器定制

產(chǎn)品簡介

晶圓烘箱 MES無氧烤箱 三清儀器定制產(chǎn)品用途范圍:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,,電工產(chǎn)品、材料石英晶體振蕩器,混合集成電路板、零備件等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗等應用。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2026-02-10
廠商性質:生產(chǎn)廠家
訪問量:3226
詳細介紹在線留言

晶圓烘箱 MES無氧烤箱 三清儀器定制工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理,內(nèi)部光亮整潔,自身潔凈不產(chǎn)塵。

產(chǎn)品主要技術參數(shù):

品    名

千級潔凈烘箱

型    號

SKCOL-9070A*4

工作室尺寸

W400 * D350 * H500 MM

總消耗功率

2.0 KW

潔 凈 度

Class 100

(立方英尺0.5UM顆粒數(shù)小于100,立方米0.5UM顆粒數(shù)小于3520)

容 積(L)

70 L

溫   度

RT+20 ~ +250℃

配 置

P.I.D控溫 三色燈,急停按鈕

設備技術指標                                                                            

項目

內(nèi)容

工作室容積

(400mm×350mm×500mm )(W寬×D深×H高)

工作溫度范圍

RT+20 ~ +250℃

升溫速率

5℃/min (空載,非線性)

溫度偏差

≤±1℃(空載,恒定狀態(tài)時)

溫度精度/分辨率

±0.1℃

溫度波動度

±1℃(空載,恒定狀態(tài)時)

溫度均勻性

±1.5%(空載,恒定狀態(tài)時) 200℃時誤差為±3℃

時間定時范圍

0 – 9999 小時,分鐘,秒

潔凈等級

Class100

立方米≥0.5UM塵粒≤35000 /立方英尺≥0.5UM塵粒≤1000

總功率

2.5 KW

電源

220V 50Hz (三相五線)

電源線

2.5米

箱體結構系統(tǒng)                                                                      

項目

內(nèi)容

結構方式

整體結構采用單門立式結構,控制柜位于箱體上方,外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后噴塑,工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理,內(nèi)部光亮整潔,自身潔凈不產(chǎn)塵。

材料構成

1.外壁材料:1.5mm厚度3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑,顏色為工業(yè)白。

2.內(nèi)壁材料:2.0mm厚SUS304鏡面潔凈不銹鋼板。

3.絕熱材料:100mm厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。

結構強度

箱底板承重能力:≤130Kg(均勻負載)

柜門

1.單開門結構,門框鑲嵌耐高溫硅橡膠密封條。

2.拉手采用拉桿式安全防爆拉手。

備注:干燥箱工作室內(nèi)部經(jīng)過堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。用戶在使用潔凈烘箱之前應使用無紡無塵布擦拭工作室內(nèi)部及隔板。

                                                       

項目

內(nèi)容

配置

1.風道位于箱體頂部與背部,高效過濾器H.E.P.A位于箱體風道內(nèi)部。

2.熱風經(jīng)過H.E.P.A進入干燥箱內(nèi)部,再循環(huán)至頂部進入風道,往復循環(huán)。

3.三相異步長軸耐高溫長軸馬達,帶相序保護,超溫過流保護。

4.不銹鋼渦輪扇葉,出廠經(jīng)動平衡調(diào)校,確保送風平穩(wěn)。

5.排風口:不銹鋼排風管,帶自動風閥,排風管位于箱體背部。

工作方式

設備啟動,鼓風裝置持續(xù)運行,箱內(nèi)熱風循環(huán)。

過濾系統(tǒng)

項目

內(nèi)容

配置

1.耐高溫高效過濾器,過濾等級H13 (99.97% - 99.99% @0.3um)

2.采用進口耐高溫超細纖維芯材,連續(xù)耐溫350℃,鋁箔隔層,陶瓷膠密封

3.邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條

工作方式

設備啟動,熱風循環(huán)啟動,熱風通過高效過濾器H.E.P.A實現(xiàn)箱內(nèi)自凈化。

安全保護系統(tǒng)                                                                            

項目

內(nèi)容

工作室

獨立式工作室超溫保護器

加熱系統(tǒng)

欠壓、超壓保護.過流保護.加熱器斷線保護.超溫保護

熱風循環(huán)系統(tǒng)

相序保護.缺相,欠壓保護.過熱,過載,過流保護

電源系統(tǒng)

電源缺相及相序錯誤保護.漏電保護.加熱器超溫保護.加熱器短路過流保護

其他

設備外殼接地保護,電磁門禁系統(tǒng)
















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